東莞市凱豐儀器科技有限公司
項目 / 型式 | SURFCOM FLEX | |||||||||
-50A | -35B | -40A | -45A | |||||||
量測範圍 | Z方向 | ±400um | ±160um | |||||||
驅動軸 | X方向50mm | X方向 12.5mm | Y方向 4.0mm | |||||||
分解能 | Z方向 | 0.00016μm/±4μm~0.016μm±400μm | 0.0064μm/±160μm/ | |||||||
解析項目 | 對應規格 | JIS-2001,JIS-1994,JIS-1982,ISO-1997,DIN-1990,ASME-1995,ASME-2002,CNOMO規格 | ||||||||
粗度測量參數 | JIS-2001 | Ra,Pa,Pq,Pt,Rz,RzJ,Rzmax,Rq,Rp,Rt,R3z,RSm,Pc,AVH,Hmax,Hmin,Pmr,Rmr,Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,VO,K | ||||||||
Motive | R,Rx,AR,W,Wx,AW,Wte | |||||||||
評價曲線 | 斷面曲線、粗度曲線、ISO13565特殊粗度曲線、粗度MOTIVE、波紋MOTIVE、包絡波紋曲線 | |||||||||
特性圖表 | 負荷曲線、振幅分布曲線 | |||||||||
濾波 | 濾波方式 | 高斯濾波、2RC濾波(位相補償型)、2RC濾波(位相非補償形) | ||||||||
截止值 | 入c: 0.08、0.25、0.8、2.5、8、25mm 入s:0.25、08.、2.5、8、25μm | 入c: 0.08、0.25、0.8、2.5mm 入s:2.5、8μm | 入c: 0.08、0.25、0.8mm 入s:2.5μm | |||||||
評價長度 | 0.1~50mm(0.1mm單位) | 0.4~12.5mm(0.1mm單位) | 0.4~4.0mm(0.1mm單位) | |||||||
驅動速度 | 0.15~1.5mm/s | 0.6mm/s | 0.3mm/s | |||||||
操作 | 動作方式 | 通用型 | 標準型 | 退避型 | 橫向測量型 | |||||
感應方式 | 差動變壓 | 差動電感(變位型) | ||||||||
測量力 | 0.75mN以下 | 4mN以下 | ||||||||
測針 | 先端:2μmR、60°圓錐、金鋼石 | 先端:5μmR、90°圓錐、金鋼石、Skid式:藍寶石、32mmR(滑動方向) | ||||||||
其它 | 電源 | 內置充電式電源(AC變壓器充電)、充電時間:3小時、消費電力:約30VA(充滿電可測600次) | ||||||||
外觀尺寸、質量 | FLEX數據處理器:132(W)*58(D)*214(H)mm,約900g | |||||||||
標準付屬品 | 標準片(E-MC-S24B),AC變壓器,手提帶,記錄紙(E-CH-S25A),使用說明書 | |||||||||
傳感器(E-DT-SE19A) 測針(DM43801) 驅動部連接線(E-SC-S517A) | 傳感器(E-DT-SM10A) 后側調整器(E-WJ-S64A) 驅動部連接線(E-SC-S518A) | 傳感器(E-DT-SM39A) 標準片盒(E-WJ-S558A) V型臺(E-WJ-S536A) 驅動部線(E-SC-S519A) |